Taula de continguts:
Definició: què significa la nanolitografia?
La nanolitografia és una branca de la nanotecnologia i el nom del procés per imprimir, escriure o gravar gravats a nivell microscòpic per tal de crear estructures increïblement petites. Aquest procés s’utilitza normalment per crear dispositius electrònics més petits i ràpids com micro / nanochips i processadors. La nanolitografia s'utilitza principalment en diversos sectors de la tecnologia des de l'electrònica fins a la biomèdica.Techopedia explica la nanolitografia
La nanolitografia és un terme ampli utilitzat per descriure diversos processos per crear patrons nanoescala en diferents suports, el més comú és el silici material semiconductor. L’objectiu predominant de la nanolitografia és la disminució dels dispositius electrònics, cosa que permet aferrar més peces electròniques a espais més petits, és a dir, circuits integrats més petits que resulten en dispositius més petits, que són més ràpids i econòmics de fabricar, ja que es necessiten menys materials. Això també augmenta el temps de rendiment i resposta perquè els electrons només necessiten recórrer distàncies molt curtes.
Algunes tècniques utilitzades en nanolitografia són les següents:
- Litografia de raigs X: implementada mitjançant un enfocament d'impressió de proximitat i es basa en raigs X de camp proper en la difracció de Fresnel. Se sap que amplia la seva resolució òptica a 15 nm.
- Doble patró: mètode que s’utilitza per augmentar la resolució de to d’un procés litogràfic imprimint patrons addicionals entre espais de patrons ja impresos a la mateixa capa.
- Litografia d'escriptura directa amb feixos electrònics (EBDW): el procés més comú utilitzat en la litografia, que utilitza un feix d'electrons per crear patrons.
- Litografia ultraviolada extrema (EUV): forma de litografia òptica que fa ús de longituds d'ona de llum d'ultrasort de 13, 5 nm.
